手套箱功能原理
手套箱箱體內(nèi)的工作氣體在箱體與凈化柱(水氧吸附器)之間,在PLC的控制和監(jiān)視下,通過管道、循環(huán)風機等進行密閉循環(huán)。工作氣體循環(huán)經(jīng)過凈化柱時其所含水分和氧氣被吸附掉,然后再返回箱體內(nèi),隨著循環(huán)時間的推移,箱體內(nèi)工作氣體中的水氧含量逐步減少,終達到小于1ppm的指標。凈化柱在一定時間的循環(huán)后會吸附飽和,可進行再生,重復使用。
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什么是手套箱
這里所指的手套箱是一個全密閉的腔體,把腔體內(nèi)外的環(huán)境完全隔絕開,腔體的一面安裝有視窗 和手套,操作人員通過手套對腔體內(nèi)的物料進行操作。
手套箱有多種用途
1)當對有毒有害物料進行操作時,手套箱可以保護操作人員和環(huán)境;
2)當大氣環(huán)境的 物質(zhì)如細菌和粉塵會污染物料時,手套箱可以用于隔離箱體外部的物質(zhì),保護箱體內(nèi)的材料免遭污染;
3)當空氣會與物料作用影響物料性能時,手套箱里可以充滿 惰性氣體,箱體用于隔離箱體外部的空氣,保護箱體內(nèi)的材料免遭空氣的氣體如水、氧氣、有時甚至氮氣的污染。后一個設備稱為惰性氣體手套箱,為要操作的物 料提供一個惰性氣體的環(huán)境。
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真空熱蒸發(fā)鍍膜工藝
OLED器 件需要在高真空腔室中蒸鍍多層有機薄膜和金屬電極,薄膜的質(zhì)量關(guān)系到器件質(zhì)量和壽命。在有機真空腔室中設有多個放置有機材料的蒸發(fā)舟,加熱蒸發(fā)舟蒸鍍有機 材料;在金屬真空腔室中設有多個放置金屬電極的蒸發(fā)舟,金屬蒸發(fā)舟常采用鉬、鉭和鎢等材料制作,電極材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等,通常是使用低功函數(shù)的活潑金屬。ITO玻璃基板放置在可加熱的旋轉(zhuǎn)樣品托架上,其下面放置的金屬掩膜板控制蒸鍍圖案,并利用石英晶體振蕩器來控 制膜厚。
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