手套箱功能原理
手套箱箱體內(nèi)的工作氣體在箱體與凈化柱(水氧吸附器)之間,在PLC的控制和監(jiān)視下,通過管道、循環(huán)風(fēng)機(jī)等進(jìn)行密閉循環(huán)。工作氣體循環(huán)經(jīng)過凈化柱時(shí)其所含水分和氧氣被吸附掉,然后再返回箱體內(nèi),隨著循環(huán)時(shí)間的推移,箱體內(nèi)工作氣體中的水氧含量逐步減少,終達(dá)到小于1ppm的指標(biāo)。凈化柱在一定時(shí)間的循環(huán)后會(huì)吸附飽和,可進(jìn)行再生,重復(fù)使用。
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艾明坷手套箱優(yōu)點(diǎn)
1.密閉循環(huán)
手套箱內(nèi)的惰性氣體經(jīng)循環(huán)風(fēng)機(jī)和凈化器密閉循環(huán),不斷地除水除氧
2.自動(dòng)控制再生
除水除氧材料可以再生,再生過程由程序控制
3.自動(dòng)清洗
手套箱內(nèi)的氣氛置換通過自動(dòng)控制的清洗閥門完成
4.箱體壓力控制
手套箱內(nèi)壓力通過PLC自動(dòng)控制, 工作壓力+/- 10mbar內(nèi)可以自由設(shè)定,超出+/- 12mbar系統(tǒng)自動(dòng)保護(hù)
5.真空泵自動(dòng)控制
真空泵要求在系統(tǒng)需要時(shí)自動(dòng)開啟
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真空熱蒸發(fā)鍍膜工藝
OLED器 件需要在高真空腔室中蒸鍍多層有機(jī)薄膜和金屬電極,薄膜的質(zhì)量關(guān)系到器件質(zhì)量和壽命。在有機(jī)真空腔室中設(shè)有多個(gè)放置有機(jī)材料的蒸發(fā)舟,加熱蒸發(fā)舟蒸鍍有機(jī) 材料;在金屬真空腔室中設(shè)有多個(gè)放置金屬電極的蒸發(fā)舟,金屬蒸發(fā)舟常采用鉬、鉭和鎢等材料制作,電極材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等,通常是使用低功函數(shù)的活潑金屬。ITO玻璃基板放置在可加熱的旋轉(zhuǎn)樣品托架上,其下面放置的金屬掩膜板控制蒸鍍圖案,并利用石英晶體振蕩器來(lái)控 制膜厚。
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