手套箱簡(jiǎn)介
手套箱是將高純惰性氣體充入箱體內(nèi),并循環(huán)過(guò)濾掉其中的活性物質(zhì)的實(shí)驗(yàn)室設(shè)備。也稱真空手套箱、惰性氣體保護(hù)箱等。主要功能在于對(duì)O2,H2O,有機(jī)氣體的清除。
廣泛應(yīng)用于無(wú)水、無(wú)氧、無(wú)塵的超純環(huán)境,如:鋰離子電池及材料、半導(dǎo)體、超級(jí)電容、特種燈、激光焊接、釬焊、材料合成、OLED、MOCVD等。也包括生物方面應(yīng)用,如細(xì)胞低氧培養(yǎng)等。
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手套箱結(jié)構(gòu)原理
主要由主箱體、過(guò)渡室兩部分組成。如用戶有其它特殊要求,也可以根據(jù)需要進(jìn)行設(shè)計(jì)制造。
主箱體上有兩個(gè)(或兩個(gè)以上)手套操作接口,分布在箱體的前邊(或前后兩邊),這使得本操作箱能被一個(gè)(或幾個(gè))人同時(shí)操作,提高了箱體的使用效率。另外,在箱體的前面(或前后)都有觀察窗,操作者能夠清楚地觀察到箱體內(nèi)的操作過(guò)程,使得操作過(guò)程直觀地展現(xiàn)在操作者的眼前。過(guò)渡室的閥門上有抽氣與充氣接嘴,在需要抽氣或充氣時(shí)可由此接入。主箱體上也安裝有閥門和接嘴,用戶在需要維持氣壓平衡而對(duì)主箱體放氣或充氣時(shí)可以使用(手套口之間的三通閥必要時(shí)也可以用來(lái)放氣)。主箱體的前觀察窗上方安裝了照明日光燈。
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手套箱在OLED器件制作過(guò)程中的應(yīng)用
OLED,即有機(jī)發(fā)光二極管(Organic Light-Emitting Diode),是一種全新的顯示技術(shù)。與LCD相比,可視角度寬(大于170°)、響應(yīng)時(shí)間快(LCD的千分之一)、低溫特性好(在零下40度正常顯示)、低功耗等優(yōu)點(diǎn),被業(yè)界廣泛看好成為下一代顯示技術(shù),現(xiàn)在已廣泛應(yīng)用于車載顯示器、手機(jī)顯示屏等等。并且隨著OLED技術(shù)發(fā)展,白光OLED在照明領(lǐng)域也開始嶄露頭角,尤其在城市照明、廣告牌等行業(yè)被寄予非常高期望。
通常所說(shuō)OLED其實(shí)包含小分子OLED和高分子OLED(也稱PLED)兩種。小分子OLED和高分子OLED的差異主要表現(xiàn)在器件的制備工藝不同:小分子器件主要采用真空熱蒸發(fā)成膜工藝,高分子器件則采用旋轉(zhuǎn)涂覆或噴涂印刷成膜工藝。
OLED器件的制備工藝大致包括:ITO玻璃清洗→光刻→再清洗→前處理→真空蒸鍍有機(jī)層→真空蒸鍍背電極→真空蒸鍍保護(hù)層→封裝→切割→測(cè)試→模塊組裝→產(chǎn)品檢驗(yàn)等十幾道工序
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