




蒸發(fā)鍍膜
一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發(fā)出來。厚度均勻性主要取決于:
1、基片材料與靶材的晶格匹配程度
2、基片表面溫度
3、蒸發(fā)功率,速率
4. 真空度
5. 鍍膜時間,厚度大小
組分均勻性:蒸發(fā)鍍膜組分均勻性不是很容易保證,具體可以調(diào)控的因素同上,但是由于原理所限,對于非單一組分鍍膜,蒸發(fā)鍍膜的組分均勻性不好。
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真空鍍膜設(shè)備真空泵的選擇
正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。8、手表、表帶、眼鏡、首飾等裝飾品鍍超耐磨裝飾(金銀)納米膜和納米膜和納米疊層膜。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預真空;有的真空泵出口壓強低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。
正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍,如:2BV系列水環(huán)真空泵工作壓強范圍760mmHg~25mmHg(絕壓),在這樣寬壓強范圍內(nèi),泵的抽速隨壓強而變化(詳細變化情況參照泵的性能曲線),其穩(wěn)定的工作壓強范圍為760~60mmHg。而低輻射膜則能滿足高緯度地區(qū)充分接受太陽輻射能量和1大限度阻止室內(nèi)熱量外流的要求。因而,泵的工作點應該選在這個范圍之內(nèi)較為適宜,而不能讓它在25~30mmHg下長期工作。
真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染,可以選無油真空泵,或者把油蒸氣排到室外。
真空泵的工作壓強應該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強要求。如:某真空干燥工藝要求10mmHg的工作真空度,選用的真空泵的極限真空度至少要2mmHg,1好能達到1mmHg。通常選擇泵的極限真空度要高于真空設(shè)備工作真空度半個到一個數(shù)量級。
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真空鍍膜機原理
真空鍍膜機是目前制作真空條件應用為廣泛的真空設(shè)備,一般用真空室、真空機組、電氣控制柜三大部分組成,排氣系統(tǒng)采用“擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成。厚度均勻性主要取決于:1、基片材料與靶材的晶格匹配程度2、基片表面溫度3、蒸發(fā)功率,速率4。本公司專業(yè)從事真空鍍膜設(shè)備的研發(fā)與生產(chǎn)擁有經(jīng)驗豐富的技術(shù)團隊及的售后服務隊伍為您解決設(shè)備在使用過程中遇到的任何問題。
真空鍍膜機檢漏
要承認漏氣究竟的虛漏仍是實漏,因為工件資料加熱后都會在不同程度上發(fā)生氣體,有也許誤以為是從外部流進的氣體,這即是虛漏,要掃除這種狀況。
第二,測驗好真空室的氣體密封功能,確保氣密功能符合要求。
第三,查看漏孔的巨細,形狀、方位,漏氣的速度,制備出可處理方案并施行。
第四,斷定檢查儀器的1小可檢漏率和檢漏靈敏性,以1大規(guī)模的檢查出漏氣狀況,防止一些漏孔被疏忽,進步檢漏的準確性。
第五,掌握檢漏儀器的反應時刻和消除時刻,把時刻掌握好,確保檢漏儀器作業(yè)到位,時刻少了,檢漏作用必定差,時刻長了,糟蹋檢漏氣體和人工電費。
第六,還要防止漏孔阻塞,有時因為操作失誤,檢漏過程中,一些塵埃或液體等把漏孔阻塞了,以為在該方位沒有漏孔,但當這些阻塞物因為內(nèi)外壓強區(qū)別進步或別的緣由使漏孔不堵了,那漏氣仍是存在的。
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