




實驗室集中供氣的優(yōu)點
1、保持氣體純度
2、不間斷氣體供應(yīng):系統(tǒng)可以以手動方式和自動方式在氣瓶之間進行切換,保證氣體連續(xù)供應(yīng)
3、低壓警示:當(dāng)氣壓低于警報限時,報警裝置可自動啟動報警
4、氣體壓力穩(wěn)定:系統(tǒng)采用兩級減壓方式供氣,可得到非常穩(wěn)定的壓力
5、率:通過供氣控制系統(tǒng),可充分使用氣瓶中的氣體,減少殘氣余量,降低用氣成本
6、操作簡便:所有氣瓶存放在同一位置,減少搬運安裝的操作,節(jié)約時間和成本費用
7、無氣瓶在實驗室:可提高安全性、提高安全感、節(jié)省實驗室操作空間
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實驗室供氣系統(tǒng)氣體管路
實驗室供氣管路系統(tǒng)工程主要是為試實驗室選用的分析設(shè)備提供量值和壓力穩(wěn)定的標(biāo)準(zhǔn)氣體,保證其儲存和使用的安全性。保障分析測試人員在實驗中免受有毒有害氣體的侵害。按照國標(biāo)要求,將所用全部氣體存放于儲氣間,并實現(xiàn)集中輸送,組成中央供氣系統(tǒng)。系統(tǒng)采用一拖一、一拖多、多拖一和多拖多的管道式輸氣方式,在一拖多時能夠?qū)崿F(xiàn)分段控制和在多拖一和多拖多時能夠?qū)崿F(xiàn)切換控制;檢漏靈敏度:也叫有效靈敏度,指檢漏儀器在1佳工作狀態(tài)下能檢出的1小漏率。并能夠保證標(biāo)準(zhǔn)氣體流量、壓力穩(wěn)定和量值傳遞不發(fā)生變化,滿足分析檢測設(shè)備對使用氣體的技術(shù)要求。
以上內(nèi)容由艾明坷為您提供,今天我們來分享的是高純供氣系統(tǒng)的相關(guān)內(nèi)容,希望對您有所幫助!
實驗供氣系統(tǒng)使用安全注意事項
1.易1燃易1爆氣體:此類氣體只要形成了可燃?xì)怏w爆1炸混合氣和達到著火溫度。便會發(fā)生燃燒爆1炸事故因此在可燃?xì)怏w入口處、氣體鋼瓶存放間、潔凈室
內(nèi)使用可燃?xì)怏w處、敷設(shè)可燃?xì)怏w的管廊或技術(shù)夾層以及可能聚集可燃?xì)怏w的場所均應(yīng)設(shè)置可燃?xì)怏w報警裝置。具體要求如下:
①可燃?xì)怏w比空氣輕者,報警裝置設(shè)置在所處場所的頂部。
②可燃?xì)怏w比空氣重者,報警裝置設(shè)置在所處場所的1低處。
③可燃?xì)怏w的報警裝置應(yīng)與相應(yīng)的事故排風(fēng)裝置設(shè)電氣連鎖,當(dāng)空氣中的可燃?xì)怏w濃度達到規(guī)定值時,事故排風(fēng)裝置自動開啟,同時向潔凈廠房的消防安全值班室發(fā)出報警信號。
④為防止倒流回火應(yīng)在用氣設(shè)備的支管上設(shè)置阻火器,在排入大氣的排氣管道上,為防止排氣時突遇雷電襲1擊阻止火焰蔓延至可燃?xì)怏w管道引發(fā)燃燒爆1炸事故,必須在排氣管道上設(shè)置阻火器。
⑤可燃?xì)怏w在適當(dāng)?shù)墓艿捞帒?yīng)做接地,但接地電阻應(yīng)符合相關(guān)規(guī)定。
⑥各種可燃?xì)怏w管道系統(tǒng)均應(yīng)設(shè)置能引入氮氣等惰性氣體的接口及相應(yīng)的檢測口,以便在可燃?xì)怏w供應(yīng)系統(tǒng)使用前后或檢修動火前后對其系統(tǒng)進行吹掃置換,但是惰性氣體吹掃接口在正常運行中不能與氣體鋼瓶或惰性氣體管道相通,以避免影響氣體質(zhì)量。
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小流量氣體凈化系統(tǒng)
高純供氣系統(tǒng)主要應(yīng)用于鋼瓶氣、管道氣及氣體發(fā)生器等的高純連續(xù)供氣,應(yīng)用于超微量水、氧分析儀、氣相色譜儀、常壓離子質(zhì)譜儀等各類氣體分析儀器純化載氣或零點氣,也可用于超高純度氣體管道安裝施工中的吹掃氣體,更可以為半導(dǎo)體工藝設(shè)備提供超高純的工藝氣體。高純氣體的輸送管路系統(tǒng)隨著微電子工業(yè)的發(fā)展,超大規(guī)模集成電路制造的硅片尺寸越做越大,要求半導(dǎo)體制造工藝中的氣體品質(zhì)相應(yīng)越來越高,對氣體中雜質(zhì)和露1點要求極為嚴(yán)格,需要達到ppb、ppt級,塵埃粒徑求控制小于0。
氣體凈化系統(tǒng)根據(jù)需求采用常溫或者高溫吸附劑,電化學(xué)拋光316L不銹鋼管件,出氣口配置微米過濾器,其氣體純化指標(biāo)達到各項雜質(zhì)含量小于1ppb的世界先進水平。
氣體配比儀采用質(zhì)量流量計,電化學(xué)拋光316L不銹鋼管件,雙卡套或者VCR氣體接頭。
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