




實驗供氣系統(tǒng)使用安全注意事項
1.易1燃易1爆氣體:此類氣體只要形成了可燃氣體爆1炸混合氣和達到著火溫度。便會發(fā)生燃燒爆1炸事故因此在可燃氣體入口處、氣體鋼瓶存放間、潔凈室
內使用可燃氣體處、敷設可燃氣體的管廊或技術夾層以及可能聚集可燃氣體的場所均應設置可燃氣體報警裝置。具體要求如下:
①可燃氣體比空氣輕者,報警裝置設置在所處場所的頂部。
②可燃氣體比空氣重者,報警裝置設置在所處場所的1低處。
③可燃氣體的報警裝置應與相應的事故排風裝置設電氣連鎖,當空氣中的可燃氣體濃度達到規(guī)定值時,事故排風裝置自動開啟,同時向潔凈廠房的消防安全值班室發(fā)出報警信號。
④為防止倒流回火應在用氣設備的支管上設置阻火器,在排入大氣的排氣管道上,為防止排氣時突遇雷電襲1擊阻止火焰蔓延至可燃氣體管道引發(fā)燃燒爆1炸事故,必須在排氣管道上設置阻火器。
⑤可燃氣體在適當?shù)墓艿捞帒鼋拥兀拥仉娮钁舷嚓P規(guī)定。
⑥各種可燃氣體管道系統(tǒng)均應設置能引入氮氣等惰性氣體的接口及相應的檢測口,以便在可燃氣體供應系統(tǒng)使用前后或檢修動火前后對其系統(tǒng)進行吹掃置換,但是惰性氣體吹掃接口在正常運行中不能與氣體鋼瓶或惰性氣體管道相通,以避免影響氣體質量。
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試驗室供氣需求
目前大多數(shù)試驗室中的各種分析儀器如氣相色譜儀、氣相色譜質譜儀、液相色譜質譜儀、原子吸收分光光度計、原子熒光光度計、等離子發(fā)射光譜儀、電感耦合等離子質譜儀等都需要連續(xù)使用高純載氣和燃氣,因此試驗室的安全、連續(xù)、穩(wěn)定運行需要我們考慮如何將這些氣體供到各試驗室中放置的分析儀器。實驗室的氣體的排放是非常重要的,如果說實驗室氣體管道設計不合理,工作人員就容易出事,甚至嚴重的就會有生命危險。
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高純氣體的輸送管路系統(tǒng)
隨著微電子工業(yè)的發(fā)展,超大規(guī)模集成電路制造的硅片尺寸越做越大,要求半導體制造工藝中的氣體品質相應越來越高,對氣體中雜質和露1點要求極為嚴格,需要達到ppb、ppt級,塵埃粒徑求控制小于0.1~0.05m的微粒,因此對高純氣體的輸送管路系統(tǒng)提出了非常高的要求 。檢漏靈敏度:也叫有效靈敏度,指檢漏儀器在1佳工作狀態(tài)下能檢出的1小漏率。
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