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電子特氣系統(tǒng)的維護(hù)

由于特氣系統(tǒng)是一種具有高風(fēng)險(xiǎn)的供應(yīng)系統(tǒng)，因此在生產(chǎn)線現(xiàn)場的維護(hù)需要專業(yè)、有經(jīng)驗(yàn)的技術(shù)員完成。特氣系統(tǒng)的維護(hù)主要包含氣體柜維護(hù)和管路維護(hù)。

（1）特氣柜又分為全自動(dòng)特氣柜與半自動(dòng)特氣柜，每種氣柜的維護(hù)方法有一定的區(qū)別。特氣系統(tǒng)知識(shí)分享：標(biāo)準(zhǔn)氣體所謂標(biāo)準(zhǔn)氣體就是用來校正測量儀器、評(píng)價(jià)測定方法、給出未知樣品氣標(biāo)準(zhǔn)值的氣體。全自動(dòng)氣柜維護(hù)自動(dòng)化程度較高，并且安全可靠。在維護(hù)前關(guān)閉鋼瓶閥門，設(shè)置換瓶吹掃，程序自動(dòng)進(jìn)行抽氣，置換等動(dòng)作，根據(jù)氣體性質(zhì)的不同，一般至少吹掃60次以上，負(fù)壓保壓30分鐘以上，確保氣柜各管路與閥門吹掃干凈。

（2）管路的維護(hù)，由于不同的氣體性質(zhì)不一樣，對(duì)管路維護(hù)的方法也不相同，對(duì)腐蝕性氣體的管道需要多次用高純氮?dú)獯祾撸∟2purge），一般至少反復(fù)30次，對(duì)于有吸附性的液態(tài)源氣體，由于管路容易堵塞，需要多次的反復(fù)的抽真空，抽完后關(guān)閉閥門，1小時(shí)后會(huì)出現(xiàn)壓力表回表的現(xiàn)象，會(huì)造成管道泄漏的誤導(dǎo)，遇到此情況打開真空器發(fā)生器繼續(xù)抽，直到?jīng)]有吸附氣體釋放為止。2、經(jīng)濟(jì)性：建一個(gè)集中的氣瓶間可以節(jié)省有限的試驗(yàn)室空間，更換氣瓶時(shí)不需要切斷氣體，保證氣體的連續(xù)供應(yīng)。

以上兩種系統(tǒng)維護(hù)后都必須做正壓與負(fù)壓的保壓測試，一般正壓保壓壓力為使用壓力的1.2倍，負(fù)壓保壓為-12PSI，保壓時(shí)間至少120分鐘以上，由于壓力傳感器（PT）受溫度的影響，一般有2PSI的正負(fù)波動(dòng)。

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試驗(yàn)室集中供氣系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)

針對(duì)過去使用中存在的問題，現(xiàn)代試驗(yàn)室對(duì)載氣的使用環(huán)境進(jìn)行了改革，即 “集中供氣系統(tǒng)”，即將使用氣體（以下簡稱載氣）集中貯存，然后通過壓差的原理將氣體經(jīng)過金屬或其他材質(zhì)管路送至用氣點(diǎn)。其優(yōu)點(diǎn)主要有以下幾點(diǎn)：

1、首先解決氣瓶的放置問題。電子特氣管道系統(tǒng)氦檢漏方法特氣系統(tǒng)氣體管道氦檢漏的順序宜采用內(nèi)向檢漏法、閥座檢漏法、外向檢漏法。氣瓶間的位置如果可能盡量位于與試驗(yàn)室相對(duì)獨(dú)立的房間，如果與試驗(yàn)室在同一大樓內(nèi)，則氣瓶間的位置要盡量位于人1流較少并且獨(dú)立的房間，這種方式可使氣瓶與工作人員及儀器完全隔離，即使有害氣體有泄漏，也不會(huì)發(fā)生直接傷害。

2、其次氣體混合的問題。將所有載氣氣瓶根據(jù)氣體性質(zhì)分別集中在一個(gè)氣瓶間中與助燃?xì)怏w分開存貯。

3、再次是解決氣瓶壓力的問題。氦檢漏發(fā)現(xiàn)的泄漏點(diǎn)經(jīng)修補(bǔ)后，應(yīng)重新經(jīng)過氣密性試驗(yàn)，合格后再按規(guī)定進(jìn)行氦檢漏。每種氣體可以將多瓶氣體并聯(lián)然后通過一個(gè)出口統(tǒng)一減壓后運(yùn)送氣體至使用點(diǎn)。因?yàn)闅馄块g是相對(duì)獨(dú)立的，整個(gè)氣路系統(tǒng)壓力1大的地方也是氣瓶出口處，因此這種方式將氣瓶壓力可能發(fā)生的危險(xiǎn)縮小至氣瓶間內(nèi)，可對(duì)人體及儀器的傷害可降到1低。

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電子特氣管道系統(tǒng)氦檢漏方法

特氣系統(tǒng)氣體管道氦檢漏的順序宜采用內(nèi)向檢漏法、閥座檢漏法、外向檢漏法。

1、內(nèi)向檢漏法(噴氦法)采用管道內(nèi)部抽真空，外部噴氦氣的方法檢漏，測試管路系統(tǒng)的泄漏率。

2、閥座檢漏法采用閥門上游充氦氣，下游抽真空的方法檢漏，測試管路系統(tǒng)的泄漏率。

3、外向檢漏法(吸槍法)應(yīng)采用管路內(nèi)部充氦氣或氦氮混合氣，外部應(yīng)采用吸槍檢查漏點(diǎn)的方法檢漏，測試管路系統(tǒng)的泄漏率。