




真空鍍膜技術(shù)的應(yīng)用領(lǐng)域
在平板顯示器中
所有各類平板顯示器都要用到各種類型的薄膜,而且,幾乎所有類型的平板顯示器件都需要使用ITO膜,以滿足透明電器的要求。可以毫不夸張的說,沒有薄膜技術(shù),就沒有平板顯示器件。
在太陽能利用方面
當需要有效地利用太陽熱能時,就要考慮采用對太陽光線吸收較多、而對熱輻射等所引起的損耗較小的吸收面。太陽光譜的峰值大約在波長為2-20μm之間的紅外波段。只要你把日常維護和定期維護做好了,在延長設(shè)備壽命的同時,生產(chǎn)過程中出現(xiàn)故障的幾率也大大降低。由于太陽輻射與熱輻射光譜在波段上有差異,因此,為了有效地利用太陽熱能,就必須考慮采用具有波長選擇特性的吸收面。
理想的選擇吸收面,是太陽輻射光譜的波段(可見光波段)吸收率(α)為1,在熱輻射波段(紅外波段)輻射率(ε)為0。
在防偽技術(shù)中
防偽膜種類很多,從使用方法可分為反射式和透射式;從膜系附著方式可以分為直接鍍膜式、間接鍍膜式或間接鍍膜剪貼式。
在飛機防護涂層方面
飛機的鈦合金緊固件,原來采用電鍍方法鍍鎘。但在鍍鎘中含有氫,所以在飛行過程中,受到大氣、海水的腐蝕,鍍層上容易產(chǎn)生“鎘脆”,甚至引起“空難”。
1964年,采用離子鍍方法在鈦合金緊固件上鍍鋁,解決了飛機零件的“鎘脆”問題。在離子鍍技術(shù)中,由于給工件施加負偏壓,可以形成“偽擴散層”、細化膜層組織,因此,可以顯著提高膜層的耐腐蝕性能。
在光學儀器中
人們熟悉的光學儀器有望遠鏡、顯微鏡、照相機、測距儀,以及日常生活用品中的鏡子、眼鏡、放大鏡等,它們都離不開鍍膜技術(shù),鍍制的薄膜有反射膜、增透膜和吸收膜等幾種。
在信息存儲領(lǐng)域中
薄膜材料作為信息記錄于存儲介質(zhì),有其得天獨厚的優(yōu)勢:
由于薄膜很薄,可以忽略渦流損耗;磁化反轉(zhuǎn)極為迅速;與膜面平行的雙穩(wěn)態(tài)狀態(tài)容易保持等。
為了更精密地記錄與存儲信息,必然要采用鍍膜技術(shù)。
在傳感器方面
在傳感器中,多采用那些電氣性質(zhì)相對于物理量、化學量及其變化來說,極為敏感的半導(dǎo)體材料。此外,其中,大多數(shù)利用的是半導(dǎo)體的表面、界面的性質(zhì),需要盡量增大其面積,且能工業(yè)化、低價格制作,因此,采用薄膜的情況很多。
在集成電路制造中
晶體管路中的保護層(SiO2、Si3N4)、電極管線等,多是采用CVD技術(shù)、PVCD技術(shù)、真空蒸發(fā)金屬技術(shù)、磁控濺射技術(shù)和射頻濺射技術(shù)??梢?,氣相沉積是制備集成電路的核心技術(shù)之一。
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多功能真空鍍膜機
真空鍍膜機工作時,需要先抽真空,使真空室處于真空狀態(tài),再進行鍍膜;鍍膜完成后,需要向真空室充氣。現(xiàn)有技術(shù)中,真空鍍膜機的充氣管道直接與外界連通,容易把外界空氣中的灰塵帶入真空室,導(dǎo)致鏡片上吸附灰塵,造成產(chǎn)品不良真空蒸渡金屬薄膜是在高真空條件下,以電阻、高頻或電子加熱使金屬熔融氣化,在薄膜基材的表面附著而形成復(fù)合薄膜,其中被鍍金屬材料用的1多的是鋁,在塑料薄膜或紙張表面鍍上一層極薄的金屬鋁即成為鍍鋁薄或鍍鋁紙,在鍍鋁薄膜生產(chǎn)過程中對于真空條件是有嚴格限定的,真空度過高或過低都會影響鍍膜的性能,目前,工廠里使用的鍍膜機對于真空度的控制并不是很穩(wěn)定,導(dǎo)致生產(chǎn)過程中產(chǎn)品的性能不夠穩(wěn)定,因此,解決生產(chǎn)過程中鍍膜機里的真空度不易控制的問題尤為重要,而且內(nèi)部鍍膜物件的溫度高,需要及時降溫,提高工作效率。第三,查看漏孔的巨細,形狀、方位,漏氣的速度,制備出可處理方案并施行。
真空鍍膜設(shè)備真空泵的選擇
正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。以上是由艾明坷科技有限公司發(fā)表內(nèi)容,如有需要,歡迎新老客戶蒞臨。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預(yù)真空;有的真空泵出口壓強低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。
正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍,如:2BV系列水環(huán)真空泵工作壓強范圍760mmHg~25mmHg(絕壓),在這樣寬壓強范圍內(nèi),泵的抽速隨壓強而變化(詳細變化情況參照泵的性能曲線),其穩(wěn)定的工作壓強范圍為760~60mmHg。油擴散泵的應(yīng)用壓強范圍是10-1帕-10-7帕,它是利用氣體的擴散現(xiàn)象來排氣的,它具有結(jié)構(gòu)簡單,操作方便,抽速大等特點。因而,泵的工作點應(yīng)該選在這個范圍之內(nèi)較為適宜,而不能讓它在25~30mmHg下長期工作。
真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染,可以選無油真空泵,或者把油蒸氣排到室外。
真空泵的工作壓強應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強要求。如:某真空干燥工藝要求10mmHg的工作真空度,選用的真空泵的極限真空度至少要2mmHg,1好能達到1mmHg。通常選擇泵的極限真空度要高于真空設(shè)備工作真空度半個到一個數(shù)量級。
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