




實驗室氣路安裝要求
1、所有氣體管路都由高質量的、完全退火型、無縫連接的不銹鋼管組成。銅管只使用在氣體管路的末端,對氣體純度要求不是太嚴格的地方。
2、氣路安裝管道不得和電纜、導電線路同架鋪設。
3、易1燃氣體,如乙1炔需要和其他氣體分開單獨引入。氫氣管道若與其他可燃氣體管道平行敷設時,其間距不應小于0.5M;交叉敷設時間距不應小于0.25M。分層敷設時氫氣管道應位于上方。
4、壓縮空氣在管路上有過濾雜質和水分的凈化裝置,此凈化裝置需要并聯一路,用單獨的閥門隔離,以方便對過濾裝置進行維修。
5、高純氣體管路的連接為無縫焊接。連接到閥門或調節(jié)裝置時才可以使用接頭配件。
6、每個實驗室都要有單獨的控制閥、減壓閥和壓力表。
7、引到工作臺的氣體管路要安裝單獨的控制閥。工作臺上要均勻排放各種氣體的控制閥門。在氦氣管路前面建議安裝氣體凈化裝置。
8、每隔1.5米左右,氣體管路就需要有支架。另外根據氣體管路彎曲的半徑,設置合適的支架位置。所有彎曲處都要有支撐。氣路安裝管路所有的支架都要進行鍍鋅防腐處理。
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大宗特氣供氣系統(tǒng)介紹
大宗特氣供氣系統(tǒng)主要針對大規(guī)模量產的8-12英寸(1英寸=25.4毫米) 超大規(guī)模集成電路廠(氣體種類包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等),100MW以上的太陽能電池生產線(氣體種類包括NH3),發(fā)光二極管的磊晶工序線(氣體種類包括NH3)、5代以上液晶顯示器工廠(氣體種類包括4、3、NF3)、光纖(氣體種類包括SiCl4)、硅材料外延生產線(氣體種類包括HCL)等行業(yè)。它們的投資規(guī)模巨大,采用1先進的工藝制程設備,用氣需求量大,對穩(wěn)定和不間斷供應、純度控制和安全生產提出嚴格的要求。氣體配比儀采用高精度質量流量計,電化學拋光316L不銹鋼管件,雙卡套或者VCR氣體接頭。
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特氣系統(tǒng)知識分享:一般混合氣體
由兩種以上氣體混合配制而成的氣體,而且主要標出大致濃度,即可滿足使用要求,這種氣體稱為一般混合氣體。
對氣體分析儀用氣體,如含氫10%,其余是氦的混合氣以及含甲1烷5%或10%;含氫40%,其余是氮或氦的混合氣被用作氫火焰總烴檢測儀的燃料氣。
在測定放1射性物質時,使用的混合氣有下列幾種組成:含異丁烷0.95%,或含丁烷1.3%,或含丙烷1.5%,或含甲1烷5%~10%,均以氦為底氣。
深海呼吸用含氧20%~60%,其余是氮或氦的混合氣。激光用氣含CO24%~16%,N210%~25%,其余是氦。
光化學反應、動植物實驗室和金屬腐蝕等研究用的混合氣因關系到公害問題,所以其中二氧化氮、二氧1化硫和硫1化氫等都要保持低濃度。
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特種氣體使用安全
首先,應對特氣的危害性進行分析,通過本質安全設計,消除安全隱患。根據行業(yè)規(guī)范,對特氣房選址、安全間距、防火分區(qū)、房間通風、電氣防爆等進行評估。管道設計應進行保壓和氦測漏,確保系統(tǒng)密閉性。鋼瓶和管道閥門應選用隔膜或波紋管密封閥門。管道系統(tǒng)應采用焊接系統(tǒng),機械接頭均應置于抽風罩內。排放氣體應進行安全處理。氣體輸送設備具有緊急切斷功能。多種氣體在同一個環(huán)境下使用,如果有兩種會發(fā)生燃燒或爆1炸等強烈化學反應的氣體同時泄漏,就可能對工作人員以及儀器設備造成傷害。操作應遵循標準操作規(guī)程。
其次,采用監(jiān)測手段,預防事故發(fā)生。設置氣體泄漏偵測器,監(jiān)控氣體泄漏。可燃性氣體應設置高溫或火焰?zhèn)蓽y器。危險氣體應設置過流開關。特氣系統(tǒng)氣柜應進行負壓監(jiān)測,防止抽風系統(tǒng)的失效。偵測系統(tǒng)應與報警和緊急切斷連鎖。系統(tǒng)還應進行遠程監(jiān)控。實驗室氣體管道設計要求了解實驗室設計的都知道:實驗室的任何的設計都是有規(guī)格要求的,出了這個要求的范圍那么實驗室的設計就有漏洞,就不合格,就容易發(fā)生事故。監(jiān)控系統(tǒng)應設置不間斷電源。
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