




CT系列鍍膜機(jī)
CT(Custamued workstation)系列鍍膜機(jī)系我司非標(biāo)定制產(chǎn)品,根據(jù)您的要求單獨(dú)設(shè)計(jì),滿足您的特殊需要。
特點(diǎn):1、按需開發(fā),量身定制。
2、整機(jī)采用柜式結(jié)構(gòu),密封性能好,防塵防水,安全。
3、磁控、熱蒸發(fā)多種鍍膜方式可選
4、可集成手套箱系統(tǒng)
5、可集成多種自動(dòng)化應(yīng)用
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真空鍍膜機(jī)
真空鍍膜機(jī)主要指一類需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜,具體包括很多種類,包括真空離子蒸發(fā),磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。
需要鍍膜的被稱為基片,鍍的材料被稱為靶材。 基片與靶材同在真空腔中。蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來。并且沉降在基片表面,通過成膜過程(散點(diǎn)-島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長(zhǎng))形成薄膜。當(dāng)擴(kuò)散泵油被電爐加熱時(shí),產(chǎn)生的油蒸汽沿著導(dǎo)流管經(jīng)傘形噴嘴向下噴出。 對(duì)于濺射類鍍膜,可以簡(jiǎn)單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,并使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被濺射出來,并且終沉積在基片表面,經(jīng)歷成膜過程,終形成薄膜。
艾明坷科技有限公司專業(yè)致力于手套箱、溶劑凈化等行業(yè)技術(shù)服務(wù),艾明坷竭誠(chéng)為您服務(wù)!
真空鍍膜機(jī)檢漏
要承認(rèn)漏氣究竟的虛漏仍是實(shí)漏,因?yàn)楣ぜY料加熱后都會(huì)在不同程度上發(fā)生氣體,有也許誤以為是從外部流進(jìn)的氣體,這即是虛漏,要掃除這種狀況。
第二,測(cè)驗(yàn)好真空室的氣體密封功能,確保氣密功能符合要求。
第三,查看漏孔的巨細(xì),形狀、方位,漏氣的速度,制備出可處理方案并施行。
第四,斷定檢查儀器的1小可檢漏率和檢漏靈敏性,以1大規(guī)模的檢查出漏氣狀況,防止一些漏孔被疏忽,進(jìn)步檢漏的準(zhǔn)確性。
第五,掌握檢漏儀器的反應(yīng)時(shí)刻和消除時(shí)刻,把時(shí)刻掌握好,確保檢漏儀器作業(yè)到位,時(shí)刻少了,檢漏作用必定差,時(shí)刻長(zhǎng)了,糟蹋檢漏氣體和人工電費(fèi)。
第六,還要防止漏孔阻塞,有時(shí)因?yàn)椴僮魇д`,檢漏過程中,一些塵埃或液體等把漏孔阻塞了,以為在該方位沒有漏孔,但當(dāng)這些阻塞物因?yàn)閮?nèi)外壓強(qiáng)區(qū)別進(jìn)步或別的緣由使漏孔不堵了,那漏氣仍是存在的。
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