




真空鍍膜機(jī)
真空鍍膜機(jī)主要指一類需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜,具體包括很多種類,包括真空離子蒸發(fā),磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。
需要鍍膜的被稱為基片,鍍的材料被稱為靶材。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍,如:2BV系列水環(huán)真空泵工作壓強(qiáng)范圍760mmHg~25mmHg(絕壓),在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi),泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化(詳細(xì)變化情況參照泵的性能曲線),其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為760~60mmHg。 基片與靶材同在真空腔中。蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來。并且沉降在基片表面,通過成膜過程(散點(diǎn)-島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長)形成薄膜。 對(duì)于濺射類鍍膜,可以簡(jiǎn)單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,并使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被濺射出來,并且終沉積在基片表面,經(jīng)歷成膜過程,終形成薄膜。
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多功能真空鍍膜機(jī)
真空鍍膜機(jī)工作時(shí),需要先抽真空,使真空室處于真空狀態(tài),再進(jìn)行鍍膜;鍍膜完成后,需要向真空室充氣。3、磁控、熱蒸發(fā)多種鍍膜方式可選4、可集成手套箱系統(tǒng)5、可集成多種自動(dòng)化應(yīng)用想了解更多產(chǎn)品信息,您可撥打圖片上的電話咨詢?,F(xiàn)有技術(shù)中,真空鍍膜機(jī)的充氣管道直接與外界連通,容易把外界空氣中的灰塵帶入真空室,導(dǎo)致鏡片上吸附灰塵,造成產(chǎn)品不良真空蒸渡金屬薄膜是在高真空條件下,以電阻、高頻或電子加熱使金屬熔融氣化,在薄膜基材的表面附著而形成復(fù)合薄膜,其中被鍍金屬材料用的1多的是鋁,在塑料薄膜或紙張表面鍍上一層極薄的金屬鋁即成為鍍鋁薄或鍍鋁紙,在鍍鋁薄膜生產(chǎn)過程中對(duì)于真空條件是有嚴(yán)格限定的,真空度過高或過低都會(huì)影響鍍膜的性能,目前,工廠里使用的鍍膜機(jī)對(duì)于真空度的控制并不是很穩(wěn)定,導(dǎo)致生產(chǎn)過程中產(chǎn)品的性能不夠穩(wěn)定,因此,解決生產(chǎn)過程中鍍膜機(jī)里的真空度不易控制的問題尤為重要,而且內(nèi)部鍍膜物件的溫度高,需要及時(shí)降溫,提高工作效率。
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真空鍍膜設(shè)備真空泵的選擇
真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許,應(yīng)選擇無振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施。
了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無顆粒灰塵,有無腐蝕性等。選擇真空泵時(shí),需要知道氣體成分,針對(duì)被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體,應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備,如冷凝器、除塵器等。
真空泵在其工作壓強(qiáng)下,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。
真空設(shè)備對(duì)油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時(shí),應(yīng)該選各種無油泵,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達(dá)到清潔真空要求。
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