




實驗室集中供氣的優(yōu)點(diǎn)
1、保持氣體純度
2、不間斷氣體供應(yīng):系統(tǒng)可以以手動方式和自動方式在氣瓶之間進(jìn)行切換,保證氣體連續(xù)供應(yīng)
3、低壓警示:當(dāng)氣壓低于警報限時,報警裝置可自動啟動報警
4、氣體壓力穩(wěn)定:系統(tǒng)采用兩級減壓方式供氣,可得到非常穩(wěn)定的壓力
5、率:通過供氣控制系統(tǒng),可充分使用氣瓶中的氣體,減少殘氣余量,降低用氣成本
6、操作簡便:所有氣瓶存放在同一位置,減少搬運(yùn)安裝的操作,節(jié)約時間和成本費(fèi)用
7、無氣瓶在實驗室:可提高安全性、提高安全感、節(jié)省實驗室操作空間
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大宗特氣供氣系統(tǒng)介紹
大宗特氣供氣系統(tǒng)主要針對大規(guī)模量產(chǎn)的8-12英寸(1英寸=25.4毫米) 超大規(guī)模集成電路廠(氣體種類包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等),100MW以上的太陽能電池生產(chǎn)線(氣體種類包括NH3),發(fā)光二極管的磊晶工序線(氣體種類包括NH3)、5代以上液晶顯示器工廠(氣體種類包括4、3、NF3)、光纖(氣體種類包括SiCl4)、硅材料外延生產(chǎn)線(氣體種類包括HCL)等行業(yè)。它們的投資規(guī)模巨大,采用1先進(jìn)的工藝制程設(shè)備,用氣需求量大,對穩(wěn)定和不間斷供應(yīng)、純度控制和安全生產(chǎn)提出嚴(yán)格的要求。特種氣體的應(yīng)用電子工業(yè)是當(dāng)今推動科技發(fā)展的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高,為有別于其它領(lǐng)域應(yīng)用的氣體,人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體,它是當(dāng)今興起的高技術(shù)含量、高投入、高附加值的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)。
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試驗室集中供氣系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)
針對過去使用中存在的問題,現(xiàn)代試驗室對載氣的使用環(huán)境進(jìn)行了改革,即 “集中供氣系統(tǒng)”,即將使用氣體(以下簡稱載氣)集中貯存,然后通過壓差的原理將氣體經(jīng)過金屬或其他材質(zhì)管路送至用氣點(diǎn)。其優(yōu)點(diǎn)主要有以下幾點(diǎn):
1、首先解決氣瓶的放置問題。氣瓶間的位置如果可能盡量位于與試驗室相對獨(dú)立的房間,如果與試驗室在同一大樓內(nèi),則氣瓶間的位置要盡量位于人1流較少并且獨(dú)立的房間,這種方式可使氣瓶與工作人員及儀器完全隔離,即使有害氣體有泄漏,也不會發(fā)生直接傷害。氦質(zhì)譜檢漏儀隨著科技的迅猛發(fā)展,氦質(zhì)譜檢漏儀及其應(yīng)用技術(shù)也在不斷發(fā)展和究善。
2、其次氣體混合的問題。將所有載氣氣瓶根據(jù)氣體性質(zhì)分別集中在一個氣瓶間中與助燃?xì)怏w分開存貯。
3、再次是解決氣瓶壓力的問題。每種氣體可以將多瓶氣體并聯(lián)然后通過一個出口統(tǒng)一減壓后運(yùn)送氣體至使用點(diǎn)。因為氣瓶間是相對獨(dú)立的,整個氣路系統(tǒng)壓力1大的地方也是氣瓶出口處,因此這種方式將氣瓶壓力可能發(fā)生的危險縮小至氣瓶間內(nèi),可對人體及儀器的傷害可降到1低。高純氣體的輸送管路系統(tǒng)隨著微電子工業(yè)的發(fā)展,超大規(guī)模集成電路制造的硅片尺寸越做越大,要求半導(dǎo)體制造工藝中的氣體品質(zhì)相應(yīng)越來越高,對氣體中雜質(zhì)和露1點(diǎn)要求極為嚴(yán)格,需要達(dá)到ppb、ppt級,塵埃粒徑求控制小于0。
實驗室氣體管道設(shè)計要求
了解實驗室設(shè)計的都知道:實驗室的任何的設(shè)計都是有規(guī)格要求的,出了這個要求的范圍那么實驗室的設(shè)計就有漏洞,就不合格,就容易發(fā)生事故。實驗室的氣體的排放是非常重要的,如果說實驗室氣體管道設(shè)計不合理,工作人員就容易出事,甚至嚴(yán)重的就會有生命危險。消除時間:是指從檢漏方法停止(如停止噴吹示漏氣體)到指示方法或儀器指示值下降到漏孔泄漏率的37%時所需的時間。
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