




CT系列鍍膜機
CT(Custamued workstation)系列鍍膜機系我司非標定制產(chǎn)品,根據(jù)您的要求單獨設(shè)計,滿足您的特殊需要。
特點:1、按需開發(fā),量身定制。
2、整機采用柜式結(jié)構(gòu),密封性能好,防塵防水,安全。
3、磁控、熱蒸發(fā)多種鍍膜方式可選
4、可集成手套箱系統(tǒng)
5、可集成多種自動化應(yīng)用
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油擴散泵在真空鍍膜機中的作用
油擴散泵:機械泵的極限真空只有10-2帕,當(dāng)達到10-1帕的時候,實際抽速只有理論的1/10,如果要獲得高真空的話,必須采用油擴散泵。
油擴散泵的應(yīng)用壓強范圍是10-1帕-10-7帕,它是利用氣體的擴散現(xiàn)象來排氣的,它具有結(jié)構(gòu)簡單,操作方便,抽速大等特點。油擴散泵主要由泵殼、噴嘴、導(dǎo)流管和加熱器組成,里面主要添加擴散泵油(日本的型號是D-704#),根據(jù)噴嘴的多少可以分為單級泵和多級泵。在玻璃上,鍍涂一層TiO2就能使其變成防霧、防露和自清潔玻璃,這種工藝在汽車玻璃上有很好的應(yīng)用。
擴散泵底部內(nèi)儲存有擴散泵油,上部為進氣口,右側(cè)旁下部為出氣口,在工作時出氣口由機械泵提供前置壓強,機械泵充當(dāng)前置泵。
當(dāng)擴散泵的油被電爐加熱時,產(chǎn)生的油蒸汽提供前置壓強,機械泵充當(dāng)前置泵。當(dāng)擴散泵油被電爐加熱時,產(chǎn)生的油蒸汽沿著導(dǎo)流管經(jīng)傘形噴嘴向下噴出。因噴嘴外面有機械泵提供的1-10-1帕的真空,故油蒸汽可噴出一段距離,構(gòu)成一個向出氣口方向運動的射流。8、手表、表帶、眼鏡、首飾等裝飾品鍍超耐磨裝飾(金銀)納米膜和納米膜和納米疊層膜。射流后碰上由冷卻水冷卻的泵壁,凝結(jié)為液體,流回蒸發(fā)器,即靠油的蒸發(fā)——噴射——凝結(jié),重復(fù)循環(huán)來實現(xiàn)抽氣的。
由進氣口進入泵內(nèi)的氣體分子,一旦落入蒸汽流中,便獲得向下運動的動量,向下飛去,由于射流具有高的流速(約200米/秒),高的蒸汽密度,且擴散泵油具有高的分子量(300-500)故能有效的帶走氣體分子,因此在射流的界面內(nèi),氣體分子不可能長期滯留,且在射流界面的兩邊,被抽氣體有很大的濃度差,正是因為這個濃度差被抽氣體能不斷的越過界面,擴散進入射流中,被帶往出口處,在出口處再由機械泵抽走。油擴散泵在真空鍍膜機中的作用油擴散泵:機械泵的極限真空只有10-2帕,當(dāng)達到10-1帕的時候,實際抽速只有理論的1/10,如果要獲得高真空的話,必須采用油擴散泵。
擴散泵的油蒸汽壓是決定泵的極限真空的重要因素,因此盡量選用飽和蒸汽壓低的泵油,其化學(xué)特性要好。
由于油擴散泵是無法杜絕有返油的幾率,那么沒有辦法保證精密產(chǎn)品的100%純凈,特別是半導(dǎo)體行業(yè),所以就有“高真空冷凝泵+低真空機械泵”所組成的無油真空系統(tǒng),冷凝泵組成的排氣系統(tǒng)不僅排氣效率極高,而且有效保證真空腔的清潔,保證產(chǎn)品的質(zhì)量(避免產(chǎn)品被污染、增強膜層與基板之間的附著力),但是其維護成本非常的高,造價昂貴,所以普及率沒有油擴散泵廣泛。真空設(shè)備講究的是-一個真空清潔度,真空清潔度越差,放氣性就越大。
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常見的真空鍍膜材料
氧化物一氧化硅SiO,二氧化硅SiO2,二氧化鈦TiO2,二氧化鋯ZrO2,二氧化鉿HfO2,一氧化鈦TiO,五氧化三鈦Ti3O5,五氧化二鈮Nb2O5,五氧化二鉭Ta2O5,氧化釔Y2O3,氧化鋅ZnO等高純氧化物鍍膜材料。
其它化合物硫化鋅ZnS,硒化鋅ZnSe,氮化鈦TiN,碳化硅SiC,鈦酸鑭LaTiO3,鈦酸鋇BaTiO3,鈦酸鍶SrTiO3,鈦酸鐠PrTiO3,硫1化鎘CdS等真空鍍膜材料。
金屬鍍膜材料高純鋁Al,高純銅Cu,高純鈦Ti,高純硅Si,高純金Au,高純銀Ag,高純銦In,高純鎂Mg,高純鋅Zn,高純鉑Pt,高純鍺Ge,高純鎳Ni,高純金Au,金鍺合金AuGe,金鎳合金AuNi,鎳鉻合金NiCr,鈦鋁合金TiAl,鋅鋁合金ZnAl,鋁硅合金AlSi等金屬鍍膜材料。本信息由艾明坷為您提供,如果您想了解更多產(chǎn)品信息,您可撥打圖片上的電話咨詢,艾明坷竭誠為您服務(wù)?!?
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真空鍍膜機檢漏
要承認漏氣究竟的虛漏仍是實漏,因為工件資料加熱后都會在不同程度上發(fā)生氣體,有也許誤以為是從外部流進的氣體,這即是虛漏,要掃除這種狀況。
第二,測驗好真空室的氣體密封功能,確保氣密功能符合要求。
第三,查看漏孔的巨細,形狀、方位,漏氣的速度,制備出可處理方案并施行。
第四,斷定檢查儀器的1小可檢漏率和檢漏靈敏性,以1大規(guī)模的檢查出漏氣狀況,防止一些漏孔被疏忽,進步檢漏的準確性。
第五,掌握檢漏儀器的反應(yīng)時刻和消除時刻,把時刻掌握好,確保檢漏儀器作業(yè)到位,時刻少了,檢漏作用必定差,時刻長了,糟蹋檢漏氣體和人工電費。
第六,還要防止漏孔阻塞,有時因為操作失誤,檢漏過程中,一些塵?;蛞后w等把漏孔阻塞了,以為在該方位沒有漏孔,但當(dāng)這些阻塞物因為內(nèi)外壓強區(qū)別進步或別的緣由使漏孔不堵了,那漏氣仍是存在的。
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